2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)
時(shí)間：2022-10-17瀏覽次數(shù)：2000半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是重要的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是新一輪工業(yè)革命的物質(zhì)基礎(chǔ)，是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和高端制造業(yè)的支撐和保障，也是各國(guó)高技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵領(lǐng)域。作為在半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)以及下游蝕刻，外延等工藝中不可缺少的關(guān)鍵輔料，高純石墨、碳/碳復(fù)合材料等炭材料在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要作用。近年來(lái),隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，這些材料的市場(chǎng)需求迅速增加，并對(duì)制造技術(shù)、品質(zhì)提出了更高的要求，無(wú)疑為傳統(tǒng)炭材料企業(yè)的升級(jí)提供了巨大機(jī)遇。2019、2020、2021年分別于無(wú)錫、成都以及長(zhǎng)沙舉辦第一屆、第二屆及第三屆半導(dǎo)體用炭材料研討會(huì)，與會(huì)代表對(duì)會(huì)議的演講內(nèi)容、討論內(nèi)容給予了高度贊譽(yù)，極大的促進(jìn)了同行人員之間的技術(shù)交流、更好的促進(jìn)了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、加強(qiáng)了上下游產(chǎn)業(yè)鏈之間的深度融合。鑒于此，石墨邦聯(lián)合北京天宜上佳高新材料股份有限公司決定于2022年11月13-15日在成都召開“2022第四屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)”?，F(xiàn)在我們?cè)诎l(fā)送通知的同時(shí)，已開始著手本論壇的籌備工作。期待通過(guò)贊助或直接參加展示的單位與人員及早列入計(jì)劃，向主辦方預(yù)約展臺(tái)和贊助項(xiàng)目等。會(huì)議誠(chéng)邀國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的專家、學(xué)者、工程技術(shù)人員以及設(shè)備儀器商，提前安排參會(huì)事項(xiàng)。
主辦單位：
湖南大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院
中南大學(xué)粉末冶金研究院
中科院炭材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
北京天宜上佳高新材料股份有限公司
成都方大炭炭復(fù)合材料股份有限公司
石墨邦
大會(huì)主席：
劉洪波 黃啟忠 郭全貴
會(huì)議地點(diǎn)：成都渝江飯店
會(huì)議時(shí)間：11月14-15日（13日簽到）
一、會(huì)議議題
1、石墨材料的均質(zhì)性/一致性
2、硅外延用石墨材料
3、軟氈、硬氈、碳碳復(fù)合材料、碳陶復(fù)合材料
4、碳化硅涂層在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
5、Cvi/Cvd法碳化硅涂層
6、CNC在半導(dǎo)體石墨加工中的應(yīng)用
7、PECVD石墨舟材料與加工
8、超高純石墨工藝技術(shù)與裝備
9、半導(dǎo)體石墨材料加工測(cè)試與表征
