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石墨靶材產(chǎn)品都有哪些特性

時間:2023-03-15瀏覽次數(shù):2013

  靶材產(chǎn)品相信很多人都會有一些陌生,它是有不同材料的靶材,像石墨靶材、金屬靶材、陶瓷靶材等,不同材料的靶材所應用的領域也不一樣,今天來講講石墨靶材,這種材料的靶材會有什么展現(xiàn)呢,接下來看看石墨靶材產(chǎn)品都有哪些特性。


  常用靶材:該領域常用靶材包括鉭/銅/鈦/鋁/金/鎳等難熔金屬。


  用途:主要用作集成電路的主要原料 3 功能要求:純度、尺寸、集成度等技術要求高。


  1、耐高溫


  石墨靶材的熔點為3850±50℃,即使在超高溫電弧中燒制,它也具有非常低的重量損失和非常小的熱膨脹系數(shù),石墨的強度隨著溫度的升高而增加,在 2000°C 時石墨的強度增加一倍。


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  2、導電/導熱性


  石墨的導電率比一般非金屬礦物高100倍,導熱性超過鋼、鐵、鉛等金屬材料。隨著溫度升高,導熱性降低,即使在非常高的溫度下,石墨也能起到絕緣體的作用。石墨之所以能導電,是因為石墨中的每個碳原子只與其他碳原子形成三個共價鍵,每個碳原子都持有一個自由電子來傳輸電荷。


  3、潤滑性


  石墨的潤滑性能取決于石墨鱗片的大小,薄片越大,摩擦系數(shù)越小,潤滑性能越好。


  4、化學穩(wěn)定性


  石墨在常溫下具有很高的化學穩(wěn)定性,耐酸、堿和有機溶劑。


  綜合上述,可以了解到石墨靶材的性能,如耐高溫、導電/導熱性、潤滑性等。

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